维宏股份：光刻范畴归于超精细加工范畴。咱们激光现在还主要是大幅面的宏加工

  维宏股份(300508)09月11日在出资者联络平台上答复了出资者关怀的问题。

  出资者：光刻机由三大中心体系，数万个零件组成，是产业链各环节顶尖公司通力合作的效果。1）光源方面，DUV选用准分子激光器，技能把握在Cymer和Gigaphoton手中，国内科益虹源打破独占；EUV光源是通过高功率CO2激光器炮击Sn滴而来，高功率激光器为中心组件。

  维宏股份董秘：您好。光刻范畴归于超精细加工范畴。咱们激光现在还主要是大幅面的宏加工。我以为，只从商业视点看，光刻机的操控办理体系，很难由独立的第三方操控办理体系供给产品。单套操控办理体系产品价格肯定会更高，可是光刻机的出货量太小了，并且摩尔定律可知，它的晋级迭代速度又很高。所以，关于第三方独立操控体系公司而言，投入产出比会很低，收益率不划算。更或许的状况是，光刻机整机厂商自研。

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