“制作业高质量开展”系列调研之五：集成电路配备精细零部件国产化为攀爬制作业“珠穆朗玛”供给柱石

  我国日报网12月17日电（曹静） 我国最大宗的进口产品是什么？答案是芯片。数据显现，从2006年开端，我国集成电路工业产品的进口超越石油成为我国最大宗进口产品。2013年至2016年，我国每年芯片进口额超越2000亿美元。其间，2016年进口金额为2270.26亿元，是同期原油进口金额的两倍。

  跟着5G、人工智能和物联网的开展，我国对芯片的需求将进一步走强。芯片广泛应用于社会生活的各个方面，像动力、交通、运送、原资料等根底工业相同，是支撑社会经济运转的根底，假如根底工业供给才干缺乏，国民经济增加将受到影响。因而，想要完结经济真实开展，我国芯片有必要脱节对外的高度依靠。要支撑集成电路工业开展，IC配备工业至关重要。

  IC配备工业是出产半导体器材、集成电路芯片和平板显现器的专用出产设备，表现一个国家现代配备制作业水平缓实力的重要标志，因占有了科技制高点，被称为制作业的“珠穆朗玛峰”。

  集成电路系统杂乱，对应用资料纯度极高，在6个9乃至10个9以上，即资料纯度需求到达99.9999%乃至99.99999999%。此外，集成电路有一个根本特征：每一代技能的尺度缩小1/3，对应整个集成度进步4倍。因而，IC设备企业对要害零部件在原资料的纯度、质量稳定性等方面要求极高，没有满意IC配备企业工艺要求的零部件供给，IC配备工业开展无法幻想。

  “富创出产简直掩盖集成电路的一切零件，来图加工，以咱们的安排加工才干保质、保量、准时完结零件出产。”12月6日，记者跟从“制作业高质量开展”网络主题活动来到坐落辽宁沈阳的富创精细设备有限公司，公司财务副总江山向记者介绍了我国IC配备零部件精细制作现状。

  2008年，我国将“极大规划集成电路制作配备及成套工艺”列入国家科技严重专项(简称“02专项”)并开端施行，集成电路高端配备和资料从无到有，构成良性开展的工业链和自主知识产权系统。

  “集成电路系统比如一个金字塔。在专项施行之前没有构成金字塔；专项施行之后咱们做出了集成电路的资料，有了配备、工艺和封装，金字塔搭起来了。”2017年的一场发布会上，国家科技严重专项技能总师、中科院微电子研究所所长叶甜春这样介绍集成电路专项施行获得的攻关效果。

  举国开展集成电路的布景下，富创诞生了。经过02专项的支撑，富创完结了IC配备精细零部件国产化的从无到有，构成了服务我国IC配备的根本才干，支撑了集成电路配备企业长足开展，要害零部件、核心技能打破了国外对我国集成电路工业的技能封闭。

  “零件出产需求冗杂的认证。”江山说，“先要经过第三方组织对企业出产系统认证，其次是第一批出产1个零件，经过6个月认证周期，经过之后进行小批量出产5-6个零件，还要经过6个月认证，再次经过之后才干进行大批量出产。” 富创出产的零件现已得到日本、美国等国厂商认证。

  人工智能技能为经济开展注入新生机，制作业是人工智能技能的重要应用领域，推进制作业转型晋级，进步世界竞赛力。人工智能对IC配备零件制作的影响相同巨大。集成电路要害设备零部件具有多种类，小（微）批量、高精度、制作进程高度杂乱等加工特色，智能产线、数字化仿真、协同与集成等智能化手法建成集成电路要害设备零部件柔性数字化车间，可以有用下降整机企业本钱，进步竞赛力。

  在国家智能专项项目支撑下，富创已建成数字化车间，完结零件柔性、高效、智能化出产。江山说，富创要做的便是给IC配备供给零件支撑，下降IC配备零件本钱，推进国产化代替趋势。

  需求供认的是，我国集成电路还停留在赶超阶段，国内产品无法彻底满意市场需求。一起，集成电路作为全球化工业，不管自动与否，国内工业都要参加全球竞赛。江山说，富创在给国内外IC配备企业供给零件的一起，活跃向日本等国学习，强化自己的技能。